石英材料:0716-8304668/0716-8333088
石英纖維 銷(xiāo)售電話(huà) : 18071880998
石英材料:0716-8304668/0716-8333088
石英纖維 銷(xiāo)售電話(huà) : 18071880998
材料簡(jiǎn)介
Introduction
電熔石英材料，具有羥基含量低、純度高、耐高溫性能強(qiáng)等特性。
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)作為擴(kuò)散爐及CVD爐元件的材料。
Main application: Electric fused quartz materia has characteristios such as low OH content, high purity, and strong high-temperature resistance. It is widely used as quartz parts for diffusion process and CVD furnace in semiconductor industry.
電熔石英錠
電熔石英管
電熔石英棒
雜質(zhì)含量
Chemical purity
FLH620L 雜質(zhì)元素典型值 (ppm)
Al
13
B
＜0.01
Ca
0.6
Zr
1
Cu
＜0.01
Fe
0.5
K
0.4
Li
0.4
Mg
＜0.05
Mn
＜0.05
Na
0.6
Ni
＜0.05
Ti
1.30
OH
＜30
FLH621 雜質(zhì)元素典型值 (ppm)
Al
14.2
B
0.08
Ca
0.6
Zr
—
Cu
＜0.01
Fe
0.23
K
0.25
Li
0.44
Mg
＜0.05
Mn
＜0.05
Na
0.12
Ni
＜0.05
Ti
1.30
OH
≤15
FLH621H 雜質(zhì)元素典型值 (ppm)
Al
8.00
B
0.04
Ca
0.6
Zr
—
Cu
＜0.01
Fe
0.15
K
0.15
Li
0.15
Mg
＜0.05
Mn
＜0.05
Na
0.08
Ni
＜0.05
Ti
1.40
OH
≤15
物理性能
Physical Property
力學(xué)性能
密度（g/cm3）
楊氏模量（GPa）
泊松比
抗彎強(qiáng)度（MPa）
抗壓強(qiáng)度（MPa）
抗拉強(qiáng)度（MPa）
抗扭強(qiáng)度（MPa）
莫氏硬度
2.2
75
0.17
65-95
1100
50
30
6-7
電學(xué)性能
介電常數(shù)
介電損耗
電阻率（Ω.cm）
3.74
0.0001
1×1016
熱學(xué)性能
應(yīng)變點(diǎn)（η=1014.5 ℃）
退火點(diǎn)（η=1013 ℃）
軟化點(diǎn)（η=107.8 ℃）
熱導(dǎo)率(W/m·k)(20℃)
比熱 (J/kg.k) (20℃)
熱膨脹系數(shù)( x10 -7 /k)
α ： 20℃ ~ 320 ℃
1150
1215
1710
1.38
749
5.2-5.8
注：在沒(méi)有另外說(shuō)明的情況下，所有值均指在25 ℃以下。 Other sizes available upon requests.
光學(xué)性能
Optical properties
紅外透過(guò)率曲線(xiàn)。 Infrared Transmittance Curve.
紫外透過(guò)率曲線(xiàn)。 Ultraviolet Transmittance Curve.
菲利華電熔石英材料
咨詢(xún)：15572095427
關(guān)注菲利華企業(yè)微信